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场发射环境扫描电子显微镜实验室
发布时间:2018-06-16   作者:admin

场发射环境扫描电子显微镜实验室是油气藏地质及开发工程国家重点实验室地质分室储层组成与结构微观分析实验平台的重要组成部分。主要由场发射环境扫描电子显微镜(Quanta250 FEG)和能谱仪(Oxford INCAx-max20)两部分组成。扫描电子显微镜运用电子成像原理可将物体放大50~100万倍,广泛运用于地质、冶金、材料、生物、医学、机械、电子等领域。

场发射环境扫描电子显微镜

场发射环境扫描电子显微镜(Quanta250 FEG)由美国FEI公司制造,是世界上唯一具有环境扫描技术的高分辨场发射扫描电子显微镜。具有高真空、低真空和ESEM?环境真空三种真空模式,可对各种样品(导电样品、不导电样品,特别是对含水、含油的样品等)进行高分辨形貌观察和分析,并进行结构和成份表征,可同时得到表面像和成份像。配备冷、热台,可对样品保持其原始状态下进行加热、凝固等动态过程的观察。采用场发射灯丝,亮度为钨灯丝近千倍,具更高分辨率。

能谱仪(INCAx-max20)由英国牛津公司制造,采用电制冷,对多种样品进行定性或半定量微区成分分析。

主要性能参数

分辨率:二次电子成像:高真空模式:1.2 nm

? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?低真空模式:1.4 nm

? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ESEMTM环境真空模式:1.4 nm

? ? ? ? 背散射电子成像:2.5 nm

放大倍数:50~100万倍

样品室真空度:<6×10-4 ~ 4000Pa

冷台,温控范围:-25 oC~ 55 oC?

热台,温控范围:室温~1000oC?

能谱元素分析范围:B5~ U92

能谱探测器分辨率:≤129ev

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